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簡(jiǎn)要描述:德國進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測設備憑借著(zhù)多年的行業(yè)經(jīng)驗及技術(shù)積累,我們可以為客戶(hù)提供半導體在片測試解決方案、材料電性能測試設備、微波射頻器件測量等測試技術(shù)服務(wù)。
詳細介紹
檢查大尺寸樣品–滿(mǎn)足自動(dòng)化潔凈室的要求
高性能、高性?xún)r(jià)比 | 可靠的結果 | 數字集成 |
它具有優(yōu)異的可用性和先進(jìn)的自動(dòng)化功能,是要求日常任務(wù)的理想選擇。相比起更先進(jìn)的光學(xué)顯微鏡,它兼顧強大的性能與經(jīng)濟的價(jià)格。 | 使用帶編碼的組件和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù),Axioscope 提供可靠的,可再現的結果。此外,自動(dòng)化的Axioscope7 能夠使您的工作流程*自動(dòng)化-所以它能很快成為實(shí)驗室的得力助手。 | 靠著(zhù)Axiocam系列相機和ZEN 2 core成像系統,Axioscope成為一個(gè)強大的數字文檔系統。從設備控制-到圖像采集、分析以及儲存您的分析數據,Axioscope提供了一個(gè)*數字化的工作流程。 |
一、德國進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測設備的應用:
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓,甚至整個(gè)平板顯示器,檢測期間不會(huì )對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm,最大橫向樣品空間為300 mm,大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性??蓾M(mǎn)足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調整至理想的聚焦位置。
二、德國進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測設備的特點(diǎn):
(1)具有兩種手動(dòng)機柱和一種電動(dòng)機柱(配有符合工業(yè)標準的三個(gè)模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢。
(2)Axio Imager Vario能通過(guò)物鏡轉盤(pán)的上下移動(dòng)來(lái)聚焦樣品。這意味著(zhù)即便是較重的樣品,依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。
(3)借助硬件自動(dòng)對焦功能,可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
(4)將Axio Imager Vario與LSM 900結合使用,能夠以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品。
(5)Axio Imager Vario已通過(guò)DIN EN ISO 14644-1認證,并滿(mǎn)足5級潔凈室的應用要求。
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