隨著(zhù)半導體市場(chǎng)的逐步開(kāi)放和增長(cháng)，射頻探針臺作為半導體檢測儀器，其市場(chǎng)也在逐年增長(cháng)和擴大中，不論是海外品牌還是國產(chǎn)品牌，近幾年在半導體檢測儀器市場(chǎng)中的規模都在逐年擴大。這里面說(shuō)的半導體元件指的是集成電路，分立器件，光電器件，傳感器等元件以及封裝的測試。本設備主要的功能就是針對半導體元件進(jìn)行檢測，通過(guò)配合測量?jì)x器可完成集成電路的電壓，電流，電阻和電容電壓特性曲線(xiàn)等參數檢測?？梢赃m用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查檢測等；可以保證這些半導體元件的質(zhì)量，縮短研發(fā)時(shí)間和器件制作工藝的成本，所以，它的存在對于制造半導體的企業(yè)來(lái)說(shuō)是非常重要的。
 

　　從傳統上講，射頻探針的接觸是用鈹-銅制作的。而且人們在較早時(shí)期采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的。早期探針使用了由一個(gè)很短的50-Ω微帶線(xiàn)，通過(guò)探針基片上一個(gè)小孔而與被測器件的壓點(diǎn)相接觸。此時(shí)，其技術(shù)難度在于如何突破4GHz時(shí)實(shí)現可重復測量。雖然有可能通過(guò)校準過(guò)程來(lái)剔除一個(gè)相對較大的串聯(lián)電感的影響，但當圓晶片的夾具被移動(dòng)時(shí)，輻射阻抗會(huì )有較大的變化。高頻測量使用的設計與用于直流和低頻測量的極尖不同，而且須使50-Ω環(huán)境盡可能地接近于DUT壓點(diǎn)。
 

　　之后工程師在探針技術(shù)上取得了突破，才確定了射頻探針的基本要求和工作原理，射頻(RF)探針在射頻產(chǎn)品生命周期中幾乎每一個(gè)階段都起著(zhù)重要作用：從技術(shù)開(kāi)發(fā)，模型參數提取，設計驗證及調試一直到小規模生產(chǎn)測試和生產(chǎn)測試。通過(guò)使用射頻探針，人們便有可能在晶片層次上測量射頻組件的特性。這可以將研究和開(kāi)發(fā)時(shí)間縮短并且大大降低開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品的成本。
 

　　射頻探針臺是半導體、晶圓、集成電路中重要的檢測設備，隨著(zhù)全球半導體產(chǎn)業(yè)向中國轉移，我國探針臺市場(chǎng)需求持續攀升。當前受益于5G、人工智能等產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶動(dòng)，半導體芯片出貨量維持增長(cháng)趨勢，則探針臺行業(yè)長(cháng)期景氣。在生產(chǎn)方面，隨著(zhù)國內生產(chǎn)技術(shù)不斷革新，國產(chǎn)化率提升。